好嘛，这倒是大意了。

一时间，会议室内的众人有点尴尬。不过不会可以学嘛，而且你既然作为曾经的二把手，以后要学的东西会越来越多。

最后苏云欣顺利拿到了所有资料，当晚就开始着手研究。

苏云欣喝了一口红糖水，托着小脑袋，考虑着到底是要光刻还是冰刻。

光刻机实际上并不是用激光来雕刻芯片，名字里有个“刻”字，但实际工作流程并不涉及“刻”的过程。

芯片生产用光刻机的工作更像是留影机，把掩膜板上的图案照射到涂在晶圆上的光刻胶上，让胶片曝光。

光刻机只是完成曝光，不进行光刻。

之后交接给蚀刻机，蚀刻机才是要完成刻的工作。使用极紫外光等方式雕刻电子线路。

而在其中光刻胶至关重要。

传统光刻机涂抹在晶圆上的这一过程中极易受到厚度、均匀程度等影响，从而影响良品率。

而冰刻在真空环境中，由于水自身的特性，它可以完美地包裹住晶圆，从而避免传统光刻胶可能导致的种种问题。

但是冰刻机的雕刻工艺需要非常细致。

“如果可以用高强度离子束替代电子束。冰刻会不会更好呢？”苏云欣有节奏的转着笔。

哎，有时候方案太多也是一种烦恼，都要选择困难症了。

“系统，你有什么建议吗？”

[#-_-都可以啦，就这么个光刻机，有啥纠结的。]

[倒是有个捷径，离子束直接混合灵子，离子速度将再次加速，离子束变的越发尖锐。不过，我怕你把握不好。]

“诶？你这样不相当于微型激光武器了吗？”

[是啊，如果是1pm（皮米），只有这样才理想，你之前都是1nm后直接跳硅基芯片了。]

“硅基芯片不是更好么？”

[-_-||所以说你对碳基硅基的认知太片面了，而且目前你对于灵子的理解也很肤浅。你目前对灵子的应用差不多就跟蓝星目前对核原子的应用水平差不多。]

“TAT有没有这么差啊，我们之前不好歹也冲到四级文明了吗？”

[你知道你偏科有多严重吗？你之前到最后文明程度是3-6之间，有些技术甚至不如一个高级二级文明。]

还是以后再尝试吧，目前还是稳妥一点用等离子体蚀刻。

通过加强能量注入缩短EUV极紫外光波长，对于目前苏云欣而言，能量损耗无所谓，后期再进行优化。

随着一道道密密麻麻的公式，一步步严密的演算，一张张阵亡的A4纸。

最终，波长缩短到了5.5nm，达到了极紫外光与伦琴射线的中间值。虽然良品率可能一般，但是1nm肯定是能搞定的。

光刻机的另外一个难点是光学器件。很多人认为只有德意志的菜思镜片才是完美的镜片。

实则不然，华夏如今的航天事业蒸蒸日上，大量航天器，卫星都是用的国产芯片，更是有目前世界上最大的“大碗”太空望远镜，足以说明咱兔子的光学器件没问题！

光刻机难的是校准、调试和成像质量补偿上。对于这些，苏云欣一项一项的微调，目前银河一号计算机也是分配了60%的算力支持。

这时候，核聚变的作用又体现出来了，海量的能源是一切研究的保障。

如果靠传统电力，这样的计算机开一天就要耗费一个城市的电量，更不要说还有冷却系统等一系列的消耗，就算不考虑资金问题，如此大的电力消耗也是难以调度。

现在就是豪横，除了必要的检测时间，直接不关机！

完善的工业体系，无数先行工作者的努力，这才得以让苏云欣在这里修改方案。

试问如果没有合格光学器件，没有强大的算力保障，没有无数前仆后继的科研人员，苏云欣能做什么。

什么都没有，难道苏云欣能凭空变出来吗？

光刻机对光刻图形的要求是近乎完美的，但设备的生产是不可能做到完美的。

使用的材料不可能做到完美；镜头打磨不可能做到完美；组装也不可能做到完美。

同时还存在存在热胀冷缩的问题，这些问题都会给最终成像效果带来误差，而且很多成效误差是不断变化的，不断累加的，必须通过一系列办法进行校准和修正，甚至需要通过软硬件结合的自动化控制，来实现实时补偿。

因此鹰酱才敢口出狂言，就算把目前最先进的光刻机送给兔子，兔子也不可能仿制，更不可能突破超越。

现在，苏云欣就要一项一项抽丝剥茧，尽量调整到理想值。

这项任务非常繁重，哪怕苏云欣夜以继日的工作，也足足搞了三天才得到一份勉强满意的方案。

期间方旭也是各种恶补光刻机相关的知识，研读项目资料。

没有更多实验数据，苏云欣只能是尽量选择“保守”一点的方案，并且尽量在理论计算上做到完善。

嗯，1nm光刻机，能用就行。不考虑能量损耗，哪怕良品率只有30%目前也够用了。

“就是这个身体啊T_T。”

这魔法期是真不好过啊，虽然没有痛痉，可是整个人一整天都有些乏力，效率起码下降30%，下面还总是黏湿的流血，难受死了。

等忙完这一阵，就把身体强化剂提上日程，尽量不要再体验一次魔法期了。

对于爱喝饮料的苏云欣而言，这几天的红糖水也真的喝够了。

苏云欣看着半个自己高的资料完成手稿，也是不得的苦笑，没有强人工智能是这样的。

光学部的钟院士和邱教授看着这样一份详细到极致的方案，哽咽了。

这方案太详细了，几乎每个细节都考虑到了；各种关键参数都划定了阈值；各种可能出现的情况都给了备用方案。甚至连1nm芯片设计方案都附带了。

不是对原先方案的完善，而是全面的提升。

这真的是一个人能完成的工作吗？哪怕是一个项目组，数个月的实验，都难以做到如此详尽。

也许真的是低看高一层雾，高看低一张纸吧。

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